飞秒激光μFAB三维加工系统

发布时间:2019-12-18
 主要技术参数

1、激光源:             波长400-1100nm, 光束直径 5 mm (at 1/e2)

2、样品上的光斑尺寸:    1 μm(使用显微物镜)和10-20 μm(使用简单透镜)

3、激光功率控制:       计算机控制功率从OD0OD4

4、运动系统:           最大运动范围(XYZ): 100mm x 100mm x 5mm

5、分辨率:             0.05 μm; XY轴最大运行速度: 300 mm/s

6、视觉系统:           使用轴反射光显微镜实时监测激光加工

7、用户界面:           简单直观的先进激光加工软件

 

功能及应用范围

1、利用双光子聚合技术进行三维微加工,用于研究光子学、微电子学以及加工微机电元件

2、工业相关的材料(包括金属、聚合物、半导体、玻璃、陶瓷及生物靶点消融)的激光铣削、切割、划线和选择性去除

3、在介质中写入波导和微流体

4、对模式生物体内亚细胞进行微纳米手术的研究

5、加工材料表面微纳米结构,用于制造传感器和加工仿生材料

 

先进性

    激光加工具有其他加工技术所没有的优点,如不需要接触(传统机械加工)、无需昂贵的真空设备(X射线、电子束、离子束加工等)、可以加工致密材料和非平板材料、以及可加工透明材料内部等。而飞秒激光,因其具有很窄的脉冲宽度,与材料作用时热影响区小,所以利用飞秒激光进行加工具有很高的精度,可以满足微纳米加工的需求。本套飞秒激光三维加工系统为材料的微纳米加工及研究具有微结构材料的特性提供了可能。
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