飞秒激光μFAB三维加工系统
发布时间:2019-12-18
主要技术参数
1、激光源: 波长400-1100nm, 光束直径 5 mm (at 1/e2)
2、样品上的光斑尺寸: ≤1 μm(使用显微物镜)和10-20 μm(使用简单透镜)
3、激光功率控制: 计算机控制功率从OD0到OD4
4、运动系统: 最大运动范围(XYZ): 100mm x 100mm x 5mm
5、分辨率: 0.05 μm; XY轴最大运行速度: 300 mm/s
6、视觉系统: 使用轴反射光显微镜实时监测激光加工
7、用户界面: 简单直观的先进激光加工软件
功能及应用范围
1、利用双光子聚合技术进行三维微加工,用于研究光子学、微电子学以及加工微机电元件
2、工业相关的材料(包括金属、聚合物、半导体、玻璃、陶瓷及生物靶点消融)的激光铣削、切割、划线和选择性去除
3、在介质中写入波导和微流体
4、对模式生物体内亚细胞进行微纳米手术的研究
5、加工材料表面微纳米结构,用于制造传感器和加工仿生材料
先进性
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