型号：MFP-3D-SA

生产厂家：美国Oxford Instruments AFM Inc.

2.工作原理：

将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的排斥力，通过在扫描时控制这种力的恒定，带有针尖的微悬臂将对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。利用光学检测法或隧道电流检测法，可测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而可以获得样品表面形貌的信息。

3.主要技术指标：

纳米压痕载荷：最大载荷7 mN，

力学分辨率75 nN；

扫描范围：XY: 90 μm。